Идентификација производа
|
Ставка |
Спецификација |
|
Назив производа |
Г4 флуороводонична киселина (ХФ) |
|
Категорија производа |
Семицондуцтор Елецтрониц Вет Цхемицал |
|
Хемијско име |
Флуороводонична киселина |
|
Хемијска формула |
ХФ |
|
ЦАС бр. |
7664-39-3 |
|
Молецулар Веигхт |
20.01 |
|
УН број |
1790 |
|
Оцена |
СЕМИ Г4 Ултра-електронска класа високе чистоће |
Преглед производа
Г4 Флуороводонична киселина је неорганска киселина на бази флуора високе{1}}чистоће- ексклузивно рафинисана за напредну производњу полупроводничких плочица и производњу микроелектронике. Усвајајући више-ултра-пречишћавање, филтрацију без корозије-без корозије и класу 1000 чисте-технологије пуњења просторија, производ садржи ултра-мало у траговима метала, ањонских нечистоћа и микро-садржаја микрочестица, у потпуности у складу са строгим међународним стандардима СЕМИ Г4.
Као језгро селективног јеткања и влажне хемикалије за чишћење у предњим{0}} процесима полупроводника, показује одличну селективност јеткања за слојеве силицијум оксида, док узрокује минимално оштећење силицијумских супстрата и нитридних филмова. Строга контрола нечистоћа ефикасно избегава микро-контаминацију и дефекте плочице, обезбеђујући висок принос и дугорочну-стабилност за напредне процесе производње чипова.
Изглед:Безбојна, бистра и провидна испарљива течност
Техничке спецификације (СЕМИ Г4 Стандард)
|
Тест Итем |
Спецификација |
|
ХФ Ассаи |
48,5 ~ 49,5 теж.% |
|
Изглед |
Безбојна и бистра провидна течност |
|
Боја (АПХА) |
Мање или једнако 5 |
|
Густина @ 20 степени |
1,15 ~ 1,18 г/цм³ |
|
Остатак испаравања |
Мање или једнако 30 ппб |
|
Појединачни метали у траговима (На, К, Ца, Мг, Фе, Цу, Ал, Зн, Ни, Цр) |
Мање или једнако 10 ппб сваки |
|
Флуосилицна киселина (Х₂СиФ₆) |
Мање или једнако 10 ппм |
|
Сулфат (СО₄²⁻) |
Мање или једнако 30 ппб |
|
нитрати (НО₃⁻) |
Мање или једнако 30 ппб |
|
хлорид (Цл⁻) |
Мање или једнако 30 ппб |
|
Честице веће или једнаке 0,2 μм |
Мање или једнако 100 ком/мЛ |
Напомена:Сви подаци о тестирању су засновани на{0}}специфичном ЦОА (сертификат анализе).
Примене (мокри процес полупроводника)
Уклањање природног оксида вафла:Селективно уклоните природни силицијум оксид и заостале оксидне контаминанте на површинама силицијумске плочице без оштећења силицијумске подлоге, оптимизујући стање површине за процесе таложења, литографије и јеткања.
Прецизно селективно гравирање:Користи се за фино нагризање СиО₂ диелектричних слојева, слојева оксида капије и слојева танког филма у производњи ИЦ, карактерише високу униформност јеткања и одличну контролу процеса како би се осигурао прецизан пренос узорка.
РЦА процес мокрог чишћења:Служи као кључна компонента модификованих РЦА решења за чишћење како би се елиминисале микро-честице, јонске нечистоће и органски остаци на површинама плочице, побољшавајући укупну чистоћу плочице.
Напредни процес паковања и МЕМС:Примењује се за површинску обраду, микро-јеткање и уклањање нечистоћа са МЕМС уређаја, полупроводничких сензора и напредних компоненти за паковање чипова, прилагођавајући се захтевима високо{1}}прецизне микроелектронске производње.
Стандард за паковање и пуњење
Врста паковања:Отпоран на корозију ПТФЕ-обложен/чист- ХДПЕ запечаћен бубањ, наменско паковање ХФ хемикалија
Уобичајена спецификација:25 кг / 30 кг мали бубањ, 1000 кг ИБЦ торба отпорна на корозију-
Окружење за пуњење:Чиста соба класе 1000, потпуно без корозије{1}}систем за производњу и пуњење, нула секундарне контаминације
Стандард за заптивање:Специјална заптивена структура против-испарљивих и-пропуштања, стриктно спречава губитак испарљивих и спољашњих контаминација
Складиштење и рок трајања
● Чувајте у хладном, сувом, проветреном складишту хемикалија за флуор, добро затворено, даље од директне сунчеве светлости, високе температуре и извора топлоте.
● Строго изолујте од стаклених производа, алкалних супстанци, оксиданата и металних материјала да бисте избегли хемијску корозију и неисправну реакцију.
● Забраните дуготрајно{0}}отворено складиштење да бисте спречили пропадање и контаминацију упијањем влаге.
● Рок трајања:12 месеци под стандардним затвореним условима складиштења
Руковање и мере предострожности
● Флуороводонична киселина је веома корозивна и испарљива. Оператери морају да носе професионалну пратећу ЛЗО: рукавице отпорне на флуор-, потпуно затворене хемијске наочаре, кецељу-отпорну на корозију и заштитну одећу.
● Све радње се морају изводити у професионалним капуљачама; избегавајте удисање испарљивих гасова и директан контакт са кожом, очима и слузокожом.
● Током разблаживања и дозирања, полако додајте киселину у дејонизовану воду; никада не додајте воду у концентровану флуороводоничну киселину да бисте спречили прскање и безбедносне незгоде.
● Специјалне мере прве помоћи{0}}ће бити усвојене одмах у случају случајног контакта или цурења и стриктно следити СДС смернице за хитно одлагање.
● За потпуну класификацију опасности, прописе о транспорту и поступке прве{0}}помоћи погледајте званични СДС документ.
Осигурање квалитета
Свака серија Г4 флуороводоничне киселине се производи, пречишћава и контролише у строгом складу са СЕМИ Г4 међународним полупроводничким стандардима. Свака пошиљка је приложена са -специфичним званичним ЦОА-ом. Цео процес производње и пуњења усваја строгу-контролу контаминације чистих просторија и управљање процесом отпорним на корозију-, обезбеђујући ултра-високу чистоћу и стабилан квалитет како би се испунили строги захтеви напредних процеса мокре производње полупроводника.
Popularne oznake: електронске хемикалије г4 флуороводоничне киселине (полупроводничке влажне хемикалије), кинеске електронске хемикалије г4 флуороводоничне киселине (полупроводничке влажне хемикалије) произвођачи, добављачи, фабрика

