Идентификација производа
|
Ставка |
Спецификација |
|
Назив производа |
Г4 Фосфорна киселина |
|
Категорија производа |
Семицондуцтор Елецтрониц Вет Цхемицал |
|
Хемијско име |
Фосфорна киселина |
|
Хемијска формула |
Х₃ПО₄ |
|
ЦАС бр. |
7664-38-2 |
|
Молецулар Веигхт |
98.00 |
|
УН број |
1805 |
|
Оцена |
СЕМИ Г4 Ултра-електронска класа високе чистоће |
Преглед производа
Г4 фосфорна киселина је ултра-високе-слаба неорганска киселина, посебно рафинисана за напредну производњу полупроводничких плочица и производњу микроелектронике. Произведен кроз више-степено пречишћавање, ултра-фину филтрацију и класу 1000 чистих-запечаћених процеса пуњења, производ садржи изузетно мало трагова металних јона, ањонских нечистоћа и микро-честица, у потпуности усклађен са строгим СЕМИ Г4 међународним полупроводничким стандардима.
Ова хемикалија поседује одличне перформансе селективног јеткања за силицијум нитрид, алуминијумске танке филмове и специфичне диелектричне материјале, са стабилном брзином јеткања и супериорном контролом процеса. Проузрокује минимално оштећење силицијумских супстрата и оксидних слојева, ефикасно уклања површинске заостале загађиваче и испуњава ултра-високе захтеве за чистоћом за напредне процесе плочице. Строга контрола нечистоћа елиминише ризике од микро-дефекта, обезбеђујући висок принос и стабилан рад за високо{4}}прецизну производњу полупроводника.
Изглед:Безбојна, провидна, сирупаста вискозна течност, без мириса
Техничке спецификације (СЕМИ Г4 Стандард)
|
Тест Итем |
Спецификација |
|
Х₃ПО₄ Тест |
84,0 ~ 86.0 теж.% |
|
Изглед |
Безбојна и бистра провидна вискозна течност |
|
Боја (АПХА) |
Мање или једнако 10 |
|
Густина @ 20 степени |
1,68 ~ 1,71 г/цм³ |
|
Остатак испаравања |
Мање или једнако 30 ппб |
|
Појединачни метали у траговима (На, К, Ца, Мг, Фе, Цу, Ал, Зн, Ни, Цр) |
Мање или једнако 10 ппб сваки |
|
Сулфат (СО₄²⁻) |
Мање или једнако 30 ппб |
|
хлорид (Цл⁻) |
Мање или једнако 30 ппб |
|
нитрати (НО₃⁻) |
Мање или једнако 30 ппб |
|
Редуцирајуће супстанце (као Х₃ПО₃) |
Мање или једнако 50 ппб |
|
Честице веће или једнаке 0,2 μм |
Мање или једнако 100 ком/мЛ |
Напомена:Сви подаци о тестирању су засновани на{0}}специфичном ЦОА (сертификат анализе).
Примене (мокри процес полупроводника)
Гравирање силицијум нитридом и алуминијумским филмом:Хемикалија за влажно нагризање језгра за предње{0}} процесе полупроводника, која се користи за прецизно нагризање танких филмова Си₃Н₄, алуминијумских металних капија и слојева алуминијумских јастучића. Одликује се одличном селективношћу јеткања, ефикасно штити силицијум оксид и силицијумску подлогу, истовремено осигуравајући уједначену и стабилну морфологију јеткања.
Прецизно чишћење површине плочице:Уклања микро-честице, заостале неорганске нечистоће и површинске трагове загађивача који настају током процеса јеткања и таложења. Ниска-карактеристика јона избегава секундарно загађење, одржавајући ултра-високу чистоћу површине плочица за напредну литографију и процесе таложења.
Формулација сложеног влажног раствора:Користи се за припрему мешаних решења за гравирање и чишћење високе-чистоће за специјалне процесе полупроводника, у складу са захтевима високо{1}}прецизне микро-нано производње интегрисаних кола.
МЕМС и напредна полупроводничка амбалажа:Примењује се за микро-једкање и површинску обраду МЕМС уређаја, микро-сензора и напредних структура паковања чипова, обезбеђујући прецизну дефиницију узорка и стабилне перформансе уређаја.
Стандард за паковање и пуњење
Врста паковања:ХДПЕ запечаћен бубањ чистог -класа на корозију-, наменско паковање фосфорне киселине високе -
Уобичајена спецификација:25 кг / 30 кг мали бубањ, 1000 кг ИБЦ торба отпорна на корозију-
Окружење за пуњење:Чиста соба класе 1000, потпуно затворен ултра-систем пуњења, строго контролише увођење честица и нечистоћа како би се избегла секундарна контаминација
Стандард за заптивање:Запечаћена структура отпорна на-непропусност-, отпорна на-загађење и-пропадање, обезбеђујући дугорочну-стабилност чистоће
Складиштење и рок трајања
● Чувајте у хладном, сувом, проветреном наменском складишту хемикалија, чувајте добро затворено, даље од директне сунчеве светлости, високе температуре и извора топлоте.
● Изолујте од алкалних супстанци, јаких оксиданата, металних прахова и корозивних некомпатибилних материјала да бисте спречили хемијске реакције и деградацију чистоће.
● Избегавајте дуготрајно-отворено постављање и упијање влаге да бисте спречили обогаћивање нечистоћама и промену перформанси.
● Рок трајања:12 месеци под стандардним затвореним условима складиштења
Руковање и мере предострожности
● Фосфорна киселина је умерено корозивна и хигроскопна. Оператери морају да носе стандардну комплетну ЛЗО:-рукавице отпорне на киселине, заштитне наочаре за хемикалије, кецељу отпорну на корозију{2}}и заштитну радну одећу.
● Све операције разблаживања, узорковања и руковања морају да се обављају у професионалној хауби како би се избегло удисање магле и директан контакт са кожом и слузокожом.
● Током разблаживања, полако додајте фосфорну киселину у дејонизовану воду; никада не додајте воду у концентровану фосфорну киселину да бисте спречили прскање и хемијске повреде.
● У случају прскања течности, контакта са кожом или цурења, одмах обавите хитно чишћење и одлагање у складу са стандардним оперативним процедурама.
● Погледајте званични СДС документ за свеобухватне информације о опасностима, прописе о транспорту и детаљне{0}}мере прве помоћи.
Осигурање квалитета
Свака серија Г4 фосфорне киселине се производи, пречишћава и контролише у строгом складу са СЕМИ Г4 међународним стандардима индустрије полупроводника. Свака пошиљка је опремљена -специфичним службеним ЦОА-ом. Цео процес производње и пуњења усваја строгу-контролу контаминације чистих просторија и високо{6}}управљање чистоћом, обезбеђујући ултра-ниску количину нечистоћа, стабилну конзистентност серије и високу прилагодљивост процеса, у потпуности испуњавајући строге захтеве влажног процеса напредне производње полупроводника.
Popularne oznake: електронске хемикалије г4 фосфорна киселина (полупроводничка влажна хемикалија), кинеске електронске хемикалије г4 фосфорна киселина (полупроводничка влажна хемикалија) произвођачи, добављачи, фабрика

